氯氣微量水分測定儀根據吸濕并電解水分的原理進行工作的。當被分析的樣氣進入電解池內，氣體中的水分即被涂敷在探頭表面的P205吸濕劑完全吸收，并被加在探頭電極上的直流電壓電解成氫氣和氧氣并隨樣氣排出。
測量時其反應過程如下：
P2O5+H2O→HPO3（吸濕過程）；
HPO3→P2O5+H2↑+O2↑（電解過程）。
樣氣在電解過程中，產生電解電流。根據法拉第電解定律和氣體狀態方程可導出，在一定溫度、壓力和流量條件下產生的電解電流正比與氣體中的水含量，只要測量出電解電流的大小即可測出氣體的含水量。
氯氣微量水分測定儀本身就是一個非常實用的儀器，但是在使用微量水分測定儀進行測量的過程中，可能存在誤差情況，這個時候我們也不能說微量水分測定儀的質量不夠好，因為不管是什么設備或多或少的都會出現這種情況。微量水分測定儀的這種誤差情況會影響到我們的工作，所以面對這種問題，我們必須考慮如何去減少測定儀在使用中誤差的情況。
較多的問題要數微量水分測定儀的操作問題，能不能正確操作設備，會直接影響測量的結果，作為一個專業的測量人員，我們應該讓自己的工作變得更加出色。測量工作完成之后就要讀取數據，在水分測定儀讀取數據的過程中，也會帶來一定的誤差問題，我們要減少誤差情況的發生，就要盡可能的去將數據進行正確讀取。
氯氣微量水分測定儀產生誤差是一件不可避免的問題，即使是科學的操作方法也不能夠完全避免，對這一個問題我們要正視。將測定儀的誤差下降到低的關鍵，就是盡量對其進行正確的操作與使用，這樣會更加有利于我們的工作。
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